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建立了超精密光學(xué)制造與檢測平臺,具備加工300mm口徑以?xún)雀黝?lèi)光學(xué)玻璃材料平面、球面、非球面、柱面、錐鏡等透鏡和反射鏡能力,擁有支持完整工藝鏈的高端數控加工設備。突破了一系列超精密光學(xué)制造和檢測關(guān)鍵技術(shù),平面和球面達到深亞納米精度,非球面達到亞納米精度。
球面透鏡 非球面透鏡 碳化硅反射鏡 1等平晶
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